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In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備
In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備

In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備

應用領域：

  1. 光電業：觸控面板、顯示器…等。
  2. 建築業：Low-E 低幅射玻璃。
  3. 車載：抗反射玻璃（AR）、抗藍光玻璃…。
  4. 太陽能產業：CIGS。
  1. 基板尺寸：G4.5、 G5.5、 G6.5、G7、G8.5 等客製化設計製造。
  2. 膜厚均勻性：U%≦ ±3%。
  3. 基板溫度：RT~400℃。
  4. 真空：10-6 ~10-7 Torr。
  5. 靶材型式：平面靶、旋轉靶。

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