真空設備/In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備-

Products产品介绍

In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備

In line Sputter system 頃斜式/垂直/水平式鍍膜設備

應用領域：

光電業：觸控面板、顯示器…等。
建築業：Low-E 低幅射玻璃。
車載：抗反射玻璃（AR）、抗藍光玻璃…。
太陽能產業：CIGS。

功能说明
规格说明

基板尺寸：G4.5、 G5.5、 G6.5、G7、G8.5 等客製化設計製造。
膜厚均勻性：U%≦ ±3%。
基板溫度：RT~400℃。
真空：10^-6 ~10^-7 Torr。
靶材型式：平面靶、旋轉靶。